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激光测试设备
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产品特点:
通用性:可测量光束位置(直径高达9mm)、角度(高达180mRad)和功率(无滤波片10µW-5mW)
精确度:低至0.1µm分辨率@50Hz数字滤波器,位置测量:±15µm和低至0.005µm分辨率,角度测量:±0.125mRad
性能参数:
型号
波长
透镜焦距
位置分辨率
位置精确度
角度测量范围
角度分辨率
角度精确度
ALIGN-USB-50
350-1100nm
50mm
≥0.1µm
±15µm
180mRad
0.02mRad
0.5mRad
ALIGN-USB-100
100mm
80mRad
0.01mRad
0.25mRad
所有AlignMeter都是由2个PSD,分光镜和透镜等组成
可测波长范围:350-1100nm
最da测量光斑:50μm-8mm
图像刷新速率:150Hz
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