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激光器及应用系统
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FQCW连续单频266nm固体激光器CryLaS总部位于德国柏林，是一家研发生产激光器，光学元件的公司。 CryLaS设计和制造二极管泵浦固态激光器。基于微芯片技术将激光器的波长拓展覆盖在UV, VIS和IR光谱范围内，可用于科学和OEM使用。主要应用于生物技术，分析，成像，传感器系统和微加工。 CryLaS产品集长期稳定、低噪音、体积小、工艺精zhan于一体。 主要产品包括从213 nm到1064 nm的被动Q开关纳秒激光器和266 nm的深紫外连续波激光器。
FQCW系列激光器可在三种不同的尺寸平台上提供从10mW 到500mW功率范围内的激光器。根据应用需要，专li激光设计等可选择8个功率版本。 四倍频的连续波DPSSL激光器由激光头，电源，控制单元和软件等部分组成。
266nm激光器产品特点：
即插即用无需调节
*密封设计
真正的连续激光输出，且具有优良的光斑特性
闭环控制，输出功率可调
低噪声，长相干长度
单频输出
关键应用：
光刻应用
干涉测量
光致发光
拉曼光谱
晶圆检测
266nm激光器产品列表：
Model
波长
最da功率
功率稳定性
M2
FQCW266-10-C
266nm
> 10 mW
≤2.0%rms
≤1.3
FQCW266-10
FQCW266-25-C
> 25 mW
FQCW266-25
FQCW266-50
> 50 mW
≤1.0%rms
FQCW266-100
> 100 mW
FQCW266-200
> 200 mW
FQCW266-300
> 300 mW
≤0.5%rms
FQCW266-500
> 500 mW
@ FQCW266-500详细参数示例，其他型号参数请咨询销售。
光学参数
@FQCW266-500
266±1nm
平均功率
500mW±5mW
功率可调范围
50 – 550mW
线宽
<300Hz
相干长度
>1000m
<1.3, TEM00
偏振态和纯度
竖直， 500：1
光斑尺寸
1.0±0.2mm
发散角
0.45mrad
指向稳定性
<3μrad/K,<3μrad/h
静态定位公差
侧面±0.25mm, 角度±0.25mrad
<0.5% rms
强度噪声值（1Hz-100kHz）
强度噪声值（100kHz-250MHz）
<1% rms
<0.2% rms
电学参数
平均功耗（max）
<200W(450W)
输入电压
90-250V AC(50-60Hz)
通讯接口
USB/RS232
安全锁方式
Key switch, Interlock
其他参数
预热时间（*冷启动）
<45min
工作温度（激光头）
20-35℃不结露
激光头尺寸，H*W*L
143*325*739mm3
控制器尺寸，H*W*L
184*483*411mm3
激光头重量
27kg
控制器重量
8kg
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